杭州拱墅提拉式单晶炉回收开关箱回收正规企业
A02版8月18日16时,我省接到中央环保督察组交办的第七批案件,共计205件。其中,重点案件42件。长春市120件(重点案件15件)、吉林市16件(重点案件4件)、四平市11件(重点案件2件)、辽源市9件(重点案件5件)、通化市15件(重点案件4件)、白山市14件(重点案件5件)、松原市4件(重点案件1件)、白城市6件(重点案件1件)、延边州4件(重点案件1件)、梅河口市1件(重点案件1件)、公主岭市4件(重点案件2件)。
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DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸,以提高集成度;另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地,作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度,以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上,硅晶体直径大致每4~5年增长1时(25.4mm),相应地,生产投料重也由1公斤逐渐发展为3~5公斤、8~12公斤、15~刘公斤和朋~6O公厅等几个等级。在这发展中,有两个条件是相辅相成、共同进步的,这就是单晶炉和拉晶工艺。为了配合di76.Zmm器件生产线的发展,我所研制了国内台15~30公斤的DL。78型单晶炉[‘],并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺[‘]。在控制大直径硅单晶的过程中,涉及的面比较广,尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺,需要研究讨论的问题很多,例如,热场的设计、减压工艺的设计与调整
单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料 ,其中用量大和用途广泛的是半导体硅。当今 95%以上的半导体器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成电路是硅集成电路 ,生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长开始时 ,用提拉的办法制成的。在单晶硅生产过程中 ,对晶体的提拉速度有十分严格的要求 ,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。图 1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器 ,再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中 ,要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度 V向上 (下 )运动 ,而且当提拉负载增大引起线速度为零时 ,提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。在实际单晶炉中 ,对提拉控制系统提出的主要技术指标是 ,提拉速度在 0 .2~ 1 0 .0 mm/h范围之内实现无级可调 ,线性精度大于± 2 %
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去年底,在中央第二环境保护督察组的调查下,一些较为隐蔽的问题,比如,污水处理厂处理的污水无法达标。督察组指出,上海市18家城镇污水处理厂存在出水重金属超标情况,且6家长期超标。日前,从上海环保、水务等部门了解到,上海对此问题高度重视,结合“五违四必”整治、土地减量化、排污许可证核发等多种手段,全力清理整顿污水“源头”的高污染产业,同时倒逼污水处理厂的提标改造,重金属超标问题得到有效控制。“污水处理厂出水的重金属超标,‘病灶’主要在源头。
四是注重信息公开,营造了良好舆情氛围。各地利用“一台一报一网”每天公开边督边改情况。各地群众积极参与督察、举报环境问题,监督整改落实;广大网民关注督察、点赞督察,为督察出谋划策;山东省还举办督察整改发布会,主动回应社会关切,取得较好效果。截至2017年9月15日,督察组交办的环境举报,地方已办结35039件,目前,第四批环境保护督察工作已进入督察报告阶段。对已经转办、待查处落实的群众举报问题,督察组已安排人员继续督办,确保群众举报的环境问题能够查处到位、整改到位、公开到位、问责到位。
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